Зазвичай в силіконової нафтової промисловості є два процеси очищення від відходів
Регенеративне термічне спалювання RTOіМетод розпилення + активована адсорбція вуглецю. Пристрій очищення вихлопних газів включає сепаратор газо-рідини, глибокий конденсатор, кислотна башта для прання, лужну промивну вежу, сухий фільтр, каталітичну печі RTO та витяжне димохід.